[发明专利]一种制备图案化聚合物的方法在审
| 申请号： | 201910598079.5 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN112180679A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 李远航;张行;万明明;邓杨臻;李源 | 申请（专利权）人： | 深圳碳森科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区西乡街道龙腾社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备图案化聚合物的方法，涉及微流控芯片的技术领域，本发明包括以下步骤：S1.喷涂光刻胶、S2.图案转移、S3.显影液显影、S4.涂覆聚合物、S5.溶解聚合物、S6.光刻胶脱模。本发明中，聚合物与图案化光刻胶之间的分离由传统的剥离转换成溶解分离，聚合物与图案化光刻胶的分离过程更加平缓，图案化聚合物结构不易损坏，生产质量更高，且操作难度、对设备精度、操作环境要求更低，生产质量更加稳定、生产更加高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 图案 聚合物 方法 | ||
【主权项】：
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