[发明专利]一种生产一氧化硅的多反应器真空炉在审

专利信息
申请号: 201910599294.7 申请日: 2019-07-04
公开(公告)号: CN110307724A 公开(公告)日: 2019-10-08
发明(设计)人: 候闽渤 申请(专利权)人: 广德特旺光电材料有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;C01B33/113
代理公司: 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 代理人: 黄乐瑜
地址: 242200 安徽省宣城市广*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提出的一种用于生产一氧化硅的多反应器真空炉,包括:炉体、多个加热反应器、收集器、抽真空装置,炉体一端设有第一炉盖,另一端设有第二炉盖,多个加热反应器紧密堆积并设置在炉体内,收集器设置在炉体内,每个加热反应器均与收集器连通,多个加热反应器和收集器共同形成一个密闭空间,抽真空装置设于炉体外,抽真空装置与炉体相连通。本发明中,通过在炉体内设置多个加热反应器,有利于提高生产效率,而且多个加热反应器共用一个收集器,有利于提高产物的收集效率,减少多个收集器的收集损耗。
搜索关键词: 加热反应器 收集器 抽真空装置 炉体 多反应器 一氧化硅 体内 真空炉 炉盖 炉体相连通 紧密堆积 密闭空间 生产效率 收集效率 连通 生产
【主权项】:
1.一种用于生产一氧化硅的多反应器真空炉,其特征在于,包括:包括炉体(1)、多个加热反应器(3)、收集器(4)、抽真空装置(5),炉体(1)一端设有第一炉盖(21),另一端设有第二炉盖(22),多个加热反应器(3)紧密堆积并设置在炉体(1)内,收集器(4)设置在炉体(1)内,每个加热反应器(3)均与收集器(4)连通,多个加热反应器(3)和收集器(4)共同形成一个密闭空间,抽真空装置(5)设于炉体(1)外,抽真空装置(5)与炉体(1)相连通。
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