[发明专利]射频电极组件和等离子体处理设备有效
| 申请号： | 201910600861.6 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN111326390B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 陈龙保;梁洁;王伟娜;涂乐义 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 党丽 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于等离子体处理设备的射频电极组件和等离子体处理设备，其中，用于等离子体处理设备的射频电极组件包括：基座，基座内设置有第一流体通道，第一流体通道连接第一流体源；位于基座上的静电夹盘；位于静电夹盘外围的聚焦环；位于基座周围的热传导环，热传导环至少部分包围基座，热传导环位于聚焦环下方，热传导环内设置有第二流体通道，第二流体通道连接第二流体源，热传导环与聚焦环之间能够进行热传导。所述等离子体处理设备能够对待处理基片边缘区域聚合物的分布进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 电极 组件 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
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