[发明专利]蒸镀掩模及其好坏判定、制造、选择、其装置的制造方法有效
| 申请号： | 201910603031.9 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110699636B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 池永知加雄 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 金玲;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供蒸镀掩模及其好坏判定、制造、选择、其装置的制造方法。蒸镀掩模的好坏判定方法具有如下的工序：测量工序，测量从P1点到Q1点的尺寸X1和从P2点到Q2点的尺寸X2；以及判定工序，根据在测量工序中测量出的尺寸X1和尺寸X2，判定蒸镀掩模的好坏。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 及其 好坏 判定 制造 选择 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模的好坏判定方法，判定蒸镀掩模的好坏，该蒸镀掩模在第1方向上延伸，并具有：第1中心轴线，其在所述第1方向上延伸，配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处；P1点和Q1点，它们设置在所述第1中心轴线的一侧，沿着所述第1方向互相分离；以及P2点和Q2点，它们设置在所述第1中心轴线的另一侧，沿着所述第1方向互相分离，其中，/n该好坏判定方法具有如下的工序：/n测量工序，测量从所述P1点到所述Q1点的尺寸X1和从所述P2点到所述Q2点的尺寸X2；以及/n判定工序，根据在所述测量工序中测量出的所述尺寸X1和所述尺寸X2，判定所述蒸镀掩模的好坏。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大日本印刷株式会社，未经大日本印刷株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910603031.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
