[发明专利]一种高选择性剥离液、其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910603572.1 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110412838B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;冯强强;王亮 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;张玉莹 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高选择性剥离液、其制备方法和应用。所述的剥离液，其原料包括下列质量分数的组分：0‑30.00％的水、5.00‑20.00％的直链酰胺类有机溶剂、10.00‑30.00％的砜类和/或亚砜类有机溶剂、21.00‑79.00％的醇醚类有机溶剂、5.00‑20.00％的烷酮类有机溶剂和0.01‑5.00％的表面活性剂，各组分质量分数之和为100％，所述的表面活性剂为含糖酰胺基的四硅氧烷双子表面活性剂。本发明的剥离液在具有好的剥离性能的情况下，对其他多种材料不构成破坏性腐蚀，具有高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 选择性 剥离 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种剥离液，其特征在于，其原料包括下列质量分数的组分：0‑30.00％的水、5.00‑20.00％的直链酰胺类有机溶剂、10.00‑30.00％的砜类和/或亚砜类有机溶剂、21.00‑79.00％的醇醚类有机溶剂、5.00‑20.00％的烷酮类有机溶剂和0.01‑5.00％的表面活性剂，各组分质量分数之和为100％，所述的表面活性剂为含糖酰胺基的四硅氧烷双子表面活性剂。
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