[发明专利]基于层状α-MoO3纳米片的夹层结构及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910604069.8 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN110364622A 公开(公告)日: 2019-10-22
发明(设计)人: 何军;王俊俊;王峰 申请(专利权)人: 国家纳米科学中心
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;B82Y10/00;B82Y30/00
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 钱云
地址: 100190 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种基于层状α‑MoO3纳米片的夹层结构及其制备方法,所述夹层结构包括层状α‑MoO3纳米片、顶电极和底电极,其中层状α‑MoO3纳米片为夹芯层,顶电极和底电极分别位于层状α‑MoO3纳米片的上下两侧;层状α‑MoO3纳米片、顶电极和底电极有重叠的区域,且顶电极和底电极不直接接触。本发明用宽带隙的二维结构的α‑MoO3纳米片作为阻变开关活性层,并与顶电极和底电极构成夹层结构,使该结构化学性质稳定,将其用于阻变存储器件中,表现出超大的存储窗口和稳定的耐受性。本发明的制备方法具有成本低、工艺简单、合成速度快等优点。
搜索关键词: 纳米片 底电极 顶电极 夹层结构 制备 耐受性 阻变存储器件 不直接接触 存储窗口 二维结构 上下两侧 活性层 夹芯层 宽带隙 合成 表现
【主权项】:
1.一种基于层状α‑MoO3纳米片的夹层结构,其特征在于,包括层状α‑MoO3纳米片、顶电极和底电极,其中所述层状α‑MoO3纳米片为夹芯层,所述顶电极和所述底电极分别位于所述层状α‑MoO3纳米片的上下两侧;所述层状α‑MoO3纳米片、所述顶电极和所述底电极有重叠的区域,且所述顶电极和所述底电极不直接接触。
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