[发明专利]一种陶瓷盘加持机构在审
| 申请号： | 201910604947.6 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110371672A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 葛林四;韩鹏帅;葛威威;吴士勇;葛永恒 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/08 | 分类号： | B65G49/08 |
| 代理公司： | 上海启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 王仙子 |
| 地址： | 201499 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘加持机构与陶瓷盘送料系统，用于陶瓷盘送料过程中，包括滑台模组、加持组件以及滑动块，所述滑动块安装于所述滑台模组，所述加持组件用于加持陶瓷盘并与所述滑动块直接或间接固定连接；利用滑台模组实现滑动块升降运动，从而带动加持组件、陶瓷盘同步发生运动，实现陶瓷盘的送料，解决人工送料的低效率、易损坏问题，在加持架上设有卡槽，在卡槽上设有用于限制陶瓷盘下坠的限位部，来解决下料过程中的不平稳问题，以及上料过程中加持力度出现偏差，陶瓷盘可自行进行根据受力进行相对加持架位置上的微调，从而避免损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷盘 滑台模组 滑动块 送料 持架 卡槽 半导体技术领域 滑动块升降 间接固定 上料过程 送料系统 限位部 下坠 受力 下料 微调 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷盘加持机构，用于陶瓷盘送料过程中，其特征在于，包括滑台模组、加持组件以及滑动块(4)，所述滑动块安装于所述滑台模组，所述加持组件用于加持陶瓷盘(7)并与所述滑动块(4)直接或间接固定连接；所述滑台模组用于驱动对应的滑动块(4)做升降运动，以使得直接或间接连接于所述滑动块(4)的所述加持组件、所述陶瓷盘(7)同步发生升降运动。
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