[发明专利]一种阴极荧光测量深度分辨的装置及方法在审
| 申请号： | 201910605743.4 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110208305A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 仇猛淋;王广甫 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | G01N23/2254 | 分类号： | G01N23/2254 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 崔自京 |
| 地址： | 100089 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种阴极荧光测量深度分辨的装置及方法，其中装置包括：静电透镜、样品控制台、光学透镜和光谱仪，电子束经过静电透镜后聚焦在设置于样品控制台上的样品表面，样品经电子束辐照激发出的光经光学透镜射入至光谱仪。本发明结构简单，操作方便，能够实现样品不同深度的元素组成和晶格缺陷的准确光谱信息的探测分析。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱仪 光学透镜 静电透镜 深度分辨 阴极荧光 电子束 测量 控制台 电子束辐照 光谱信息 晶格缺陷 样品表面 样品控制 元素组成 射入 探测 聚焦 激发 分析 | ||
【主权项】：
1.一种阴极荧光测量深度分辨的装置，其特征在于，包括：静电透镜、样品控制台、光学透镜和光谱仪，电子束经过所述静电透镜后聚焦在设置于所述样品控制台上的样品表面，样品经电子束辐照激发出的光经所述光学透镜射入至光谱仪。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京师范大学，未经北京师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910605743.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
