[发明专利]载具自动清洁及检测装置、方法在审

专利信息
申请号: 201910606226.9 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN112170411A 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 刘锦坤 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: B08B9/20 分类号: B08B9/20;B08B9/46;B08B13/00;B08B15/04;G01N33/18;F26B21/00
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明实施例涉及清洁设备技术领域,公开了一种载具自动清洁及检测装置、方法。本发明提供的载具自动清洁及检测装置包括:清洗机;杂质检测机;控制系统,所述控制系统控制载具进入所述清洗机,并控制所述清洗机对所述载具进行自动清洗,还控制所述杂质检测机对清洗完成的所述载具进行微尘检测。本发明提供的载具自动清洁及检测装置、方法能够自动完成载具的清洗及杂质检测,减少人力成本。
搜索关键词: 自动 清洁 检测 装置 方法
【主权项】:
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