[发明专利]一种差分谐振器及MEMS传感器在审
| 申请号： | 201910606444.2 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110311649A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 占瞻;李杨;刘雨薇;陈秋玉;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 汤喜友 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种差分谐振器及MEMS传感器，其中，差分谐振器包括基底、第一谐振器、第二谐振器以及耦合机构，第一谐振器通过耦合机构与第二谐振器连接，且第一谐振器和第二谐振器与基底连接并且在外力作用下可相对基底位移，耦合机构包括第一导向梁、第二导向梁、第一耦合梁、第二耦合梁、第一连接件以及第二连接件；其中，第一导向梁和第二导向梁设置于与第一谐振器或第二谐振器的振动方向相垂直的方向的相对两侧；第一耦合梁的一端与第一导向梁连接，另一端与第二导向梁连接，并且第一耦合梁通过第一连接件与第一谐振器连接；第二耦合梁的一端与第一导向梁连接，另一端与第二导向梁连接，并且第二耦合梁通过第二连接件与第二谐振器连接。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 导向梁 耦合梁 耦合机构 第二连接件 第一连接件 基底连接 基底位移 外力作用 相对两侧 振动方向 垂直的 基底 | ||
【主权项】：
1.一种差分谐振器，所述差分谐振器包括基底、第一谐振器、第二谐振器以及耦合机构，所述第一谐振器通过所述耦合机构与所述第二谐振器连接，且所述第一谐振器和所述第二谐振器与所述基底连接并且在外力作用下可相对所述基底位移，且所述第一谐振器和所述第二谐振器位移方向互为相反，其特征在于：所述耦合机构包括第一导向梁、第二导向梁、第一耦合梁、第二耦合梁、第一连接件以及第二连接件；其中，所述第一导向梁和所述第二导向梁设置于与所述第一谐振器或所述第二谐振器的振动方向相垂直的方向的相对两侧；所述第一耦合梁的一端与所述第一导向梁连接，另一端与所述第二导向梁连接，并且所述第一耦合梁的中部通过所述第一连接件与所述第一谐振器连接；所述第二耦合梁的一端与所述第一导向梁连接，另一端与所述第二导向梁连接，并且所述第二耦合梁的中部通过所述第二连接件与所述第二谐振器连接。
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