[发明专利]基于氧化钒单晶片的悬空式光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于氧化钒单晶片的悬空式光电探测器，包括：底座、V6O13单晶片、源电极以及漏电极；所述底座为凹形，所述V6O13单晶片的两端固定在所述底座两边的凸起，所述V6O13单晶片和所述底座之间形成空腔，所述V6O13单晶片两端的上表面分别镀金属薄膜，分别作为源电极、漏电极。本发明采用的悬空式光电探测器器件结构，利用V6O13单晶片与基底的悬空，极大的减少了V6O13单晶片与基底之间发热导，提高探测器的信噪比，显著提高器件的光电性能。本发明提供的基于V6O13单晶片的悬空式光电器件，实现0.4‑8.8μm的可见—中红外宽光谱光电响应，其响应时间达毫秒级，有望成为第三代非致冷红外探测器的候选材料。

主权项

1.一种基于氧化钒单晶片的悬空式光电探测器，其特征在于，包括：底座、V₆O₁₃单晶片、源电极以及漏电极；/n所述底座为凹形，所述V₆O₁₃单晶片的两端固定在所述底座两边的凸起，所述V₆O₁₃单晶片和所述底座之间形成空腔，所述V₆O₁₃单晶片两端的上表面分别镀金属薄膜，分别作为源电极、漏电极。/n