[发明专利]提高刻蚀液使用寿命的方法及金属导线刻蚀装置在审
| 申请号： | 201910610959.X | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110344058A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 李嘉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种提高金属导线制程中刻蚀液使用寿命的方法及金属导线刻蚀装置，包括：提供一刻蚀喷淋槽以及与所述刻蚀喷淋槽连通的刻蚀液槽，所述刻蚀液槽容置有刻蚀液，所述刻蚀液槽还连通一过滤装置，所述过滤装置包括一渗透膜；采用所述过滤装置对所述刻蚀液槽中的所述刻蚀液进行金属离子过滤，使所述刻蚀液中的金属离子浓度在预定使用范围内；将过滤后的部分所述刻蚀液回流至所述刻蚀液槽。本发明能够调节刻蚀液中的金属离子浓度，进一步提高刻蚀液的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀液 过滤装置 金属导线 金属离子 使用寿命 刻蚀装置 喷淋槽 连通 过滤 槽容置 渗透膜 刻蚀 制程 | ||
【主权项】：
1.一种提高刻蚀液使用寿命的方法，其特征在于，包括：S10，提供一刻蚀喷淋槽以及与所述刻蚀喷淋槽连通的刻蚀液槽，所述刻蚀液槽容置有刻蚀液，所述刻蚀液槽还连通一过滤装置，所述过滤装置包括一渗透膜；S20，采用所述过滤装置对所述刻蚀液槽中的所述刻蚀液进行金属离子过滤，使所述刻蚀液中的金属离子浓度在预定使用范围内；S30，将过滤后的部分所述刻蚀液回流至所述刻蚀液槽。
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