[发明专利]一种提高微通道板分辨力的方法及其蒸镀方法有效

专利信息
申请号: 201910610970.6 申请日: 2019-07-08
公开(公告)号: CN110400738B 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 李晓峰;常乐;曾进能;李廷涛;赵恒 申请(专利权)人: 北方夜视技术股份有限公司
主分类号: H01J43/24 分类号: H01J43/24;H01J9/12;C23C14/24;C23C14/16
代理公司: 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 代理人: 赛晓刚
地址: 650217*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明公开了一种在MCP的输出端面上蒸镀一层铂(Pt)/镍(Ni)/金(Au)/银(Ag)等金属材料的膜层、以覆盖MCP原有的输出镍‑铬电极提高微通道板分辨力的方法,本发明还公开了一种包括在MCP输出端面蒸镀金属膜层时能够控制镀膜层的深度的蒸镀方法。本发明可以提高MCP输出电极的逸出功,获得动能更低的输出电子,由此提高MCP的分辨力。本发明不改变MCP的孔径和机械强度,克服了传统的通过减小MCP孔径来提高其分辨力的方法存在的价格昂贵、应用范围狭窄等问题,具有现实意义。
搜索关键词: 一种 提高 通道 分辨力 方法 及其
【主权项】:
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