[发明专利]一种耐卤素铜缓蚀剂及其制备方法在审
申请号: | 201910612099.3 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN110205633A | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 程晓婷;张爱国;周文 | 申请(专利权)人: | 威海翔泽新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23F11/14 | 分类号: | C23F11/14;C07D249/18 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 崔自京 |
地址: | 264200 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种耐卤素铜缓蚀剂及其制备方法,涉及的是一种在循环水日常加药处理中耐卤素氧化的铜缓蚀剂及其制备方法,所述耐卤素铜缓蚀剂为甲基苯并三氮唑衍生物,具体包括如下组份,按质量百分比计:TTA5~25%、氢氧化钠1~10%、次氯酸钠(10%)40~65%、双氧水20~35%和水余量;将水、氢氧化钠按照上述比例加入容器中,然后全程反应将温度控制在65℃~85℃之间,随后加入TTA,搅拌30‑60min至完全溶解,最后将含有TTA的混合液和双氧水同时反滴加到已经预热至85℃的次氯酸钠溶液中,保持温度搅拌3‑4h,即得上述耐卤素铜缓蚀剂。通过本发明制备的耐卤素铜缓蚀剂成本低廉、缓蚀效果优良,并且本发明公开的制备方法操作简便,对设备要求不高,适于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 铜缓蚀剂 制备 双氧水 氢氧化钠 甲基苯并三氮唑 次氯酸钠溶液 质量百分比 次氯酸钠 缓蚀效果 加药处理 完全溶解 对设备 混合液 水余量 循环水 预热 滴加 组份 全程 | ||
【主权项】:
1.一种耐卤素铜缓蚀剂,其特征在于,所述耐卤素铜缓蚀剂为甲基苯并三氮唑衍生物,其结构包括如下所示:其中,R1、R2、R3与R4均分别为H、Cl或CH3。
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