[发明专利]治具、研磨装置及样品块的研磨方法在审
| 申请号： | 201910614991.5 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110328605A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 梁剑 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;G01N1/28 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种治具、研磨装置及样品块的研磨方法，该治具包括：支撑架，相对研磨机固定；导向装置，包括引导部和活动部，引导部设置在支撑架上，活动部安装在导向部上，并能够沿着引导部滑动，以朝向研磨盘运动；夹持装置，用于夹持样品块；夹持装置设置在活动部上，以便能带动样品块沿着所述引导部运动，以便靠近所述研磨盘；施力装置，设置在支撑架上，用于对夹持装置施力，以便使夹持装置沿着引导部运动，进而将样品块压在研磨盘上。本发明提供的治具通过夹持装置夹持治具，并通过施力装置对夹持装置施力以便使夹持装置沿着导向部朝向研磨盘运动，由于导向部的引导作用可以避免夹持装置在研磨过程中晃动偏移，从而可以避免出现样品块磨偏、磨斜问题的出现。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持装置 研磨盘 治具 研磨 导向部 活动部 支撑架 施力装置 研磨装置 施力 导向装置 夹持治具 引导作用 研磨机 滑动 偏移 夹持 晃动 | ||
【主权项】：
1.一种治具，能够夹持样品块，并能够在夹持样品块后对所述样品块施力以将样品块压在研磨机的研磨盘上，其特征在于，包括：支撑架，相对所述研磨机固定；导向装置，包括引导部和活动部，所述引导部设置在所述支撑架上，所述活动部安装在所述导向部上，并能够沿着所述引导部滑动，以朝向所述研磨盘运动；夹持装置，设置在所述活动部上，用于夹持所述样品块；施力装置，设置在所述支撑架上，用于对所述夹持装置施力，以便使所述夹持装置沿着所述引导部运动，进而将样品块压在所述研磨盘上。
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