[发明专利]一种薄膜传感器的频率响应测试方法有效
| 申请号： | 201910615540.3 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110455402B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 赵兵;刘玉龙;张联祯;黄英坤 | 申请（专利权）人： | 中科传感技术（青岛）研究院 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 青岛鼎丞智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 37277 | 代理人： | 韩耀朋 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜传感器的频率响应测试方法，其特征在于，包括：搭建测试平台，将各个仪器进行连接，将功率放大器的输入端与信号发生器的输出端相连，输出端与超声波换能器的输入端相连，电荷放大器、滤波电路和后置放大电路采用仪器‑‑信号放大器，将电荷放大器的输入端与薄膜传感器相连，后置放大电路输出端与示波器通道相连，将超声波换能器的输入端通过信号线与示波器通道相连；将超声波换能器与薄膜传感器浸入润滑油之中；激活信号发生器的输出，并给整个系统供电；对比示波器上显示驱动信号和薄膜传感器采集超声波换能器产生的机械震动信号，得出该薄膜传感器对该频率的频率响应性能。对测量设备要求低，测试方法简单有效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 传感器 频率响应 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜传感器的频率响应测试方法，其特征在于，包括：/n将信号发生器(1)的输出端与功率放大器(2)的输入端相连，功率放大器(2)的输出端与超声波换能器(3)的输入端相连；/n电荷放大器(5)、滤波电路(6)和后置放大电路(7)采用仪器--信号放大器，将电荷放大器(5)的输入端与薄膜传感器(4)相连，后置放大电路(7)输出端与示波器(8)通道相连；/n将超声波换能器(3)的输入端通过信号线与示波器(8)通道相连；/n将超声波换能器(3)与薄膜传感器(4)放置到能够传递超声波的介质之中；/n激活信号发生器(1)的输出，并给整个系统供电；/n对比示波器(8)上显示的加载到超声波换能器(3)上的驱动信号波形和薄膜传感器(4)采集超声波换能器(3)产生的机械震动信号波形，得出该薄膜传感器(4)对该频率的频率响应性能。/n
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