[发明专利]一种MEMS光纤水听器及其制作方法在审
| 申请号： | 201910619044.5 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN110332981A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 虞益挺;李浩勇 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS光纤水听器及其制作方法，属于光纤传感领域。水听器主要包括光纤1、腔长控制层2、膜片支撑3、保护帽4、敏感膜片5、质量块6、反射层7、膜片支撑结构8，其敏感结构采用梁支撑/圆形薄膜+质量块形式，旨在降低敏感结构的阻尼比、提高敏感结构的谐振响应、增加珐珀腔的平整度、克服温度和气压对珐珀腔初始腔长的影响；预定义刻蚀截止层旨在降低敏感结构的制造难度，突破敏感结构制造时的厚度限制，简化敏感结构的制造工艺，实现超薄敏感结构的高保真制造。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感结构 光纤水听器 珐珀腔 质量块 光纤传感领域 膜片支撑结构 制造 刻蚀截止层 厚度限制 敏感膜片 膜片支撑 腔长控制 谐振响应 圆形薄膜 制造工艺 保护帽 初始腔 反射层 高保真 平整度 水听器 预定义 阻尼比 气压 制作 光纤 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS光纤水听器，其特征在于，主要包括光纤1、腔长控制层2、膜片支撑3、保护帽4、敏感膜片5、质量块6、反射层7、膜片支撑结构8；所述光纤1与腔长控制层2连接，所述腔长控制层2制作在膜片支撑3上，所述敏感膜片5通过膜片支撑结构8与膜片支撑3连接，所述反射层7制作在敏感膜片5上，所述敏感膜片5与光纤1之间的距离通过腔长控制层2和反射层7控制，所述质量块6制作在敏感膜片5上，所述保护帽4与膜片支撑3连接。
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