[发明专利]一种干涉显微镜自动对焦装置及方法

摘要

本发明公开了一种干涉显微镜自动对焦装置及方法，照明单元发出准直光束，准直光束经照明分光镜反射后形成照明光束，照明光束通过显微物镜后一部分被干涉分光镜反射形成参考光束，另外一部分透射经过干涉分光镜形成测试光束；参考光束依次被参考镜、干涉分光镜反射，之后依次透射经过显微物镜、照明分光镜、管镜，在相机上形成参考光斑；测试光束照射在样品上后被反射，依次透射经过干涉分光镜、显微物镜、照明分光镜、管镜，在相机上形成测试光斑。本发明用以解决现有技术中干涉显微镜的对焦方法存在的耗时久、体积大和可靠性不足的问题，实现不增大干涉显微镜仪器体积，能够快速可靠的自动对焦，且对焦过程操作简便、自动化程度高的目的。

主权项

1.一种干涉显微镜自动对焦装置，包括照明分光镜(2)、显微物镜(3)、干涉分光镜(4)、参考镜(5)、管镜(6)、相机(7)、以及用于承载样品(9)的移动台(8)，其特征在于，还包括照明单元(1)；所述照明单元(1)发出准直光束，准直光束经照明分光镜(2)反射后形成照明光束(10)，照明光束(10)通过显微物镜(3)后一部分被干涉分光镜(4)反射形成参考光束(11)，另外一部分透射经过干涉分光镜(4)形成测试光束(12)；所述参考光束(11)依次被参考镜(5)、干涉分光镜(4)反射，之后依次透射经过显微物镜(3)、照明分光镜(2)、管镜(6)，在相机(7)上形成参考光斑；所述测试光束(12)照射在样品(9)上后被反射，依次透射经过干涉分光镜(4)、显微物镜(3)、照明分光镜(2)、管镜(6)，在相机(7)上形成测试光斑。