[发明专利]一种压电冲击驱动二维并联跨尺度精密定位平台

摘要

本发明公开一种压电冲击驱动二维并联跨尺度精密定位平台，由动子、柔性支架、基座和压电驱动器组成二维的微动平台，微动平台固定在底座的上方，磁铁固定在底座的中心并穿过动子的通孔，动子四角位置的小球与平板最下层的耐磨层摩擦耦合，平板次下层的铁磁层受磁铁吸引形成与动子之间的预压力，在压电驱动器的锯齿波电压作用下实现平板二维并联跨尺度精密运动。本发明结构紧凑、控制方便、位移分辨率高、响应速度快、运动行程大，可进一步提升压电精密定位平台在STM、AFM等显微系统中的应用效果。

主权项

1.一种压电冲击驱动二维并联跨尺度精密定位平台，其特征在于：包括微动平台、底座、平板和磁铁，所述微动平台由动子、柔性支架、基座和压电驱动器组成；所述动子设置于微动平台的中心位置并通过四组柔性支架与基座连接，所述压电驱动器安装在柔性支架与基座之间并推动动子进行XY方向位移；所述微动平台通过基座固定在底座的上方，所述动子的中心位置设置有通孔，所述磁铁固定于底座的中心并穿过动子的通孔；所述动子的四角位置对称设置有四个小球；所述平板至少包含两层，最下层为耐磨层，与动子的小球摩擦耦合，次下层为铁磁层，受磁铁吸引形成平板与动子之间的预压力。