[发明专利]化学气相均匀沉积炉

摘要

本发明是一种化学气相均匀沉积炉，包括炉体、加热装置、进气装置。炉体内安装有专用的内筒腔体连接着进气系统。本发明通过改进沉积腔室，增加气体喷淋装置、底部加热装置以及衬底的旋转系统提升了薄膜沉积的均匀性节省了材料；所述炉体底部有废气出口，用于后续的废气处理。

主权项

1.一种化学气相均匀沉积炉，包括带有炉底的炉体，炉体内安装有专用的沉积腔室，沉积腔室连接有进气装置，其特征在于：所述的沉积腔室包括上端部的腔室上圈与腔室下圈，腔室上圈与腔室下圈是内侧面为光滑面的筒壁；所述化学气相均匀沉积炉还包括底部加热装置，底部加热装置包括石墨加热器，以及开口向上的凹槽用于沉积薄膜；所述进气系统都是不锈钢管道，管内进行电抛光，管道的接头用氩弧焊或VCR及Swagelok方式连接并进行正压检漏。