[发明专利]一种基于磁流变加工的连续型螺旋相位板制备方法有效

专利信息
申请号: 201910621157.9 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN110394693B 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 唐才学;温圣林;张远航;颜浩;嵇保建;石琦凯;邓燕;王健;张清华;李昂 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;G02B5/18
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 李冉
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于磁流变加工的连续型螺旋相位板制备方法,基于梯度匹配方法选择磁流变去除函数,并利用磁流变加工技术去除函数尺寸小、修形能力强、加工确定性高的特点,直接在基本光学元件表面加工出螺旋相位板的设计图案,该方法具有工艺简单、加工精度高、成形效率高等优点。
搜索关键词: 一种 基于 流变 加工 连续 螺旋 相位 制备 方法
【主权项】:
1.一种基于磁流变加工的连续型螺旋相位板制备方法,其特征在于,包括:S1:获取螺旋相位板的设计面形数据,其中设计面形长度为m,设计面形宽度为n,单位为mm;S2:选择基板,其中基板长度不小于m,宽度不小于n;并测量基板面形数据;判断基板面形数据是否满足PV≤1λ;若满足,则执行步骤S3;其中,PV表示面形数据中最大值和最小值的差值;S3:对螺旋相位板的设计面形数据和基板面形数据进行误差匹配,得到残余误差面形数据;S4:判断残余误差面形数据的均方根是否小于预设阈值;若否,则基于梯度匹配方法选择磁流变去除函数;S5:在确定了磁流变去除函数和残余误差面形数据后,计算驻留时间,并对应生成磁流变机床的数控程序;S6:基于选取的基板和生成的磁流变机床的数控程序进行磁流变加工,得到螺旋相位板元件;S7:测量螺旋相位板元件面形数据,并与所述设计面形数据进行误差匹配,得到新的残余误差面形数据,并重复执行步骤S4~S7,直至残余误差面形数据的均方根小于预设阈值,螺旋相位板制备完成。
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