[发明专利]一种具有多级调控功能的薄膜结构在审
| 申请号： | 201910623452.8 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110456525A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 孟云;魏劲松;王阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00;C23C14/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 张宁展<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 201800*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有多级调控功能的薄膜结构，该结构是相变材料(PCM)和金属‑绝缘体材料(MIT)结合的新型薄膜结构。具有两种材料各自独立的光学特性，随温度变化产生四次调控的特点。利用激光加热或退火加热，随着温度的升高，MIT首先发生绝缘体‑金属的转变，从而本结构反射率产生第一次变化。温度继续升高，相变材料发生相变(晶化)，本结构光学性质产生第二次变化。当降温时，MIT会恢复到原来状态，而PCM不变，从而本结构产生第三次变化。最后利用激光加热，相变材料发生相变(非晶化)，本结构恢复到起始状态。这种随温度变化产生的多级光学性质改变，为多级调控光电子材料和器件设计提供了新思路。 | ||
| 搜索关键词： | 相变材料 激光加热 升高 绝缘体 退火 金属 光电子材料 绝缘体材料 薄膜结构 调控功能 光学特性 光学性质 结构产生 结构光学 结构恢复 起始状态 器件设计 新型薄膜 原来状态 反射率 非晶化 调控 晶化 加热 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种具有多级调控功能的薄膜结构，其特征在于，利用相变材料和金属-绝缘体材料构成，其中中间层为金属-绝缘体材料，上下两层分别为铝层和相变材料。/n
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