[发明专利]离子空间分布的检测方法和系统有效
| 申请号： | 201910627199.3 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN110739199B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 陈宗祺 | 申请（专利权）人： | 萨默费尼根有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/26;G01N27/626 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈洁;何焜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种离子检测系统包括：微通道板堆叠，其包括正面和后面，该堆叠设置成在正面接收来自四极杆的出口孔的离子通量并在后面响应于所接收的离子通量发射电子通量；闪烁体，其具有前表面和后表面，并设置成在前表面接收电子通量，并在后表面响应于所接收的电子通量发射光子通量；配置成接收光子通量的光成像器；电源；第一、第二和第三电极，其连接到电源并分别设置在正面、后面和第一表面上，其中闪烁体包括磷光材料的单晶板。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 空间 分布 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于四极杆质量分析器的离子检测系统，其包括：/n包括前面和后面的微通道板堆叠，所述堆叠设置成在所述前面接收来自所述四极杆的出口孔的离子通量并在所述后面响应于接收的离子通量发射电子通量；/n闪烁体，其具有前表面和后表面，并设置成在所述前表面接收所述电子通量，并在所述后表面响应于所接收的电子通量发射光子通量；/n配置成接收所述光子通量的光成像器；/n电源；和/n第一、第二和第三电极，其连接到所述电源并分别设置在所述前面、后面和第一表面上，/n其中所述闪烁体包括磷光材料的单晶板。/n
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