[发明专利]更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法有效
申请号: | 201910629306.6 | 申请日: | 2019-07-12 |
公开(公告)号: | CN110712582B | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 于之跃;王希鸣;陈裕凯;吴立仁;杨谨漪;邱惠琪 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B60P3/00 | 分类号: | B60P3/00 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 谢强;黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器,配置以接收一请求信号,以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮,配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂,配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中;装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中;从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒;耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐;及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。 | ||
搜索关键词: | 更换 光刻 胶瓶罐 车辆 电脑 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种车辆,用于更换一光刻胶瓶罐,包括:/n一处理器,配置以:/n接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号,其中该请求信号包括关联于该第一光刻胶瓶罐的一第一地点;以及/n基于该请求信号而传递一指令;/n多个车轮,配置以从该第一地点移动该车辆至一第二地点,且从该第二地点移动该车辆至该第一地点;以及/n一机械手臂,配置以:/n在该第一地点装载该第一光刻胶瓶罐至一第一容器中;/n在该第二地点装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中;/n从该第二光刻胶瓶罐移除一盖部,且从该第一光刻胶瓶罐移除一套筒;/n耦接该第一光刻胶瓶罐的该套筒至该第二光刻胶瓶罐;以及/n在该第一地点从该第二容器卸载该第二光刻胶瓶罐。/n
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