[发明专利]折叠空间电荷区肖特基二极管在审
| 申请号： | 201910631160.9 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110504328A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 岳庆冬;王娅 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L29/167;H01L21/329 |
| 代理公司： | 61230 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘长春;闫家伟<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种折叠空间电荷区肖特基二极管，包括：衬底；绝缘层，设置于衬底的上表面；第一外延层，设置于绝缘层的上表面；第二外延层，设置于第一外延层的上表面，且与第一外延层之间形成有二维电子气；第三外延层，设置于第二外延层上；第三外延层上设置有第一凹槽；第一凹槽内填充有绝缘材料；第一金属电极，设置于第三外延层上，且设置于第一凹槽的一侧；第二金属电极，设置于第三外延层上，且设置于第一凹槽的另一侧。本发明通过在第三外延层上设置凹槽，并通过在第一外延层和第二外延层之间形成二维电子气，可以大幅提升微波无线能量传输系统的能量转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 外延层 上表面 绝缘层 二维电子气 金属电极 衬底 无线能量传输系统 能量转换效率 肖特基二极管 空间电荷区 绝缘材料 折叠 填充 微波 | ||
【主权项】：
1.一种折叠空间电荷区肖特基二极管，其特征在于，包括：/n衬底(001)；/n绝缘层(002)，设置于所述衬底(001)的上表面；/n第一外延层(003)，设置于所述绝缘层(002)的上表面；/n第二外延层(006)，设置于所述第一外延层(003)的上表面，且与所述第一外延层(003)之间形成有二维电子气(007)；/n第三外延层(008)，设置于所述第二外延层(006)的上表面；所述第三外延层(008)上设置有第一凹槽(010)；所述第一凹槽(010)内填充有绝缘材料；/n第一金属电极(013)，设置于所述第三外延层(008)上，且设置于所述第一凹槽(010)的一侧；/n第二金属电极(015)，设置于所述第三外延层(008)上，且设置于所述第一凹槽(010)的另一侧。/n
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