[发明专利]MEMS传感器元件和对应的传感器、芯片以及其制造方法在审
| 申请号： | 201910633558.6 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110697647A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | J·莱茵穆特;P·施莫尔格鲁贝尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS传感器元件，其具有可偏移地布置的膜片，所述MEMS传感器元件包括衬底；载体结构，所述载体结构用于所述可偏移地布置的膜片，其中，所述载体结构与所述衬底至少在一个区域中连接，其中，所述膜片部分地与所述载体结构连接，其中，在所述载体结构与所述膜片之间形成封闭的空间；和电极结构，其与所述载体结构和所述膜片间隔开地布置在所述封闭的空间中。 | ||
| 搜索关键词： | 体结构 膜片 可偏移 衬底 电极结构 载体结构 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS传感器元件(1b)，所述MEMS传感器元件具有可偏移地布置的膜片(4)，所述MEMS传感器元件包括/n-衬底(2)；/n-用于所述可偏移地布置的膜片(4)的载体结构(9)，其中，所述载体结构(9)与所述衬底(2)至少在一个区域(80')中连接，其中，所述膜片(4)部分地与所述载体结构(9)连接，其中，在所述载体结构(9)与所述膜片(4)之间形成封闭的空间(40)；和/n-电极结构(6)，所述电极结构在所述封闭的空间(40)中与载体结构(9)和膜片(4)间隔开地布置。/n
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