[发明专利]一种用于薄膜盘面绷紧的机构有效
| 申请号： | 201910634051.2 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110531588B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 王皓;望凯力;王广平;吕嗣鸿;曹宇 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于薄膜盘面绷紧的机构，使得某光刻所用的薄膜在绷紧之后具有一定的内应力；本发明包括薄膜、上封盖、饼盘、下托盘、驱动推柱；其中，饼盘由六块结构完全相同的扇形体组成，每个扇形体包括扇形盘体、导向滑槽以及薄膜粘接凸台区域，下托盘包括圆形盘体、导向滑键以及复位弹性体；利用下托盘和上封盖约束饼盘的轴向自由度，利用导向滑块滑槽结构约束饼盘的转动自由度，限制饼盘只能沿半径方向向外伸展，利用驱动锥柱的轴向进动作为饼盘外伸的动力，使粘接在薄膜粘接凸台区域上的薄膜均匀绷紧且具有一定的内应力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 盘面 绷紧 机构 | ||
【主权项】：
1.一种用于薄膜盘面绷紧的机构，其特征在于：该结构包括PI薄膜(101)、上封盖(102)、饼盘(103)、下托盘(104)、驱动推柱(105)。所述的饼盘(103)由六块结构完全相同的扇形体(301、302、303、304、305、306)组成，每个扇形体包括扇形盘体(401)、导向滑槽(402)以及PI薄膜粘接凸台区域(403)，所述的下托盘(104)包括圆形盘体(501)、导向滑块(502)以及弹性柱体(503)。所述的薄膜(101)与扇形体(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸台区域连接(403)，所述下托盘(104)的导向滑块(502)与上封盖(102)相连接，所述的扇形体(301、302、303、304、305、306)的导向滑槽(402)与所述下托盘(104)通过导向滑块(502)和弹性柱体(503)连接。/n
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