[发明专利]清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法有效
| 申请号： | 201910635373.9 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN112222096B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 该发明涉及一种清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法，其中所述清洁装置，内置有气体腔，用于存储清洁气体，且所述清洁装置表面设置有气孔，与所述气体腔连通，用于供所述气体腔内存储的清洁气体喷出，且所述气孔设置有开关，用以在所述气体腔和外界的压差大于一第一预设阈值时打开。所述清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法具有所述气体腔和所述气孔，以及具有开关，只有在所述气体腔和外界的压差大于一第一预设阈值时打开，因此保证了所述清洁装置在喷出清洁气体时有一定的清洁力度，从而保证了清洁效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 以及 处理 设备 晶圆载台 方法 | ||
【主权项】：
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