[发明专利]相位检测自动对焦像素元件及其形成方法，图像传感器及其形成方法

摘要

本申请涉及半导体技术领域，具体地涉及一种相位检测自动对焦像素元件及其形成方法，以及图像传感器及其形成方法。所述相位检测自动对焦像素元件(PDAF)包括：半导体衬底，所述半导体衬底包括至少两个像素区域；增透层，所述增透层位于所述半导体衬底上；至少两个掩埋透镜，所述至少两个掩埋透镜位于所述增透层上，位置对应于所述至少两个像素区域。所述掩埋透镜可以聚集射入到PDAF像素元件中的光线，增加所述PDAF像素元件的进光量，增大所述PDAF元件中像素区域之间的光强差别，增大所述PDAF像素元件对光线的响应角度，提高对焦灵敏度。

主权项

1.一种相位检测自动对焦像素元件，包括：半导体衬底，所述半导体衬底包括至少两个像素区域；增透层，所述增透层位于所述半导体衬底上；至少两个掩埋透镜，所述至少两个掩埋透镜位于所述增透层上，位置对应于所述至少两个像素区域；滤色层，所述滤色层位于所述增透层上，并且覆盖所述至少两个掩埋透镜；微透镜，位于所述滤色层上，横跨所述至少两个像素区域。