[发明专利]一种基于有机场效应晶体管的存储器及制备方法在审

专利信息
申请号: 201910638531.6 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN110400874A 公开(公告)日: 2019-11-01
发明(设计)人: 张鹏 申请(专利权)人: 南京邮电大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 210003 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于有机场效应晶体管的存储器及制备方法,所述存储器的结构包括栅极电极、栅极氧化层、自组装单分子层、有机活性层、Cu源极和Cu漏极;其中所述栅极电极为重掺杂硅衬底或者表面蒸镀Al栅极的柔性衬底,所述栅极氧化层为SiO2,所述自组装单分子层为十八烷基三氯硅烷,所述有机活性层为N型有机半导体全氟酞菁铜。本发明能够提高存储窗口、加快编程效率和改善维持时间,提高了器件的工作稳定性,可实现全电调控的工作模式;其制备方法简便,便于实现工业级应用。
搜索关键词: 存储器 制备 有机场效应晶体管 自组装单分子层 有机活性层 栅极氧化层 栅极电极 衬底 十八烷基三氯硅烷 工作稳定性 编程效率 存储窗口 工作模式 掺杂硅 工业级 酞菁铜 漏极 全电 全氟 源极 蒸镀 调控 应用
【主权项】:
1.一种基于有机场效应晶体管的存储器,其特征在于:其结构包括栅极电极(1)、栅极氧化层(2)、自组装单分子层(3)、有机活性层(4)、Cu源极(5)和Cu漏极(6);其中所述栅极电极(1)为重掺杂硅衬底或者表面蒸镀Al栅极的柔性衬底,所述栅极氧化层(2)为SiO2,所述自组装单分子层(3)为十八烷基三氯硅烷,所述有机活性层(4)为N型有机半导体全氟酞菁铜。
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