[发明专利]一种平面靶材的绑定装置和方法在审

专利信息
申请号: 201910640013.8 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN110230032A 公开(公告)日: 2019-09-13
发明(设计)人: 陆映东;廖政堂;郑飞雄;黄作;张倍维 申请(专利权)人: 广西晶联光电材料有限责任公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/35
代理公司: 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 代理人: 韦微
地址: 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明涉及一种平面靶材的绑定装置和方法,该装置包括带滑轨的机架、热台、密封滑盖、气动升降滑块、辅助板、用于控制热台温度的温度控制箱和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块。本发明绑定方法是在常温下将背板、铟板和靶材初步定位在辅助板上,然后放置到热台上加热绑定。当温度升高后,在高温状态时,操作人员只需要打开密封滑盖,检查靶材绑定位置是否符合要求,如有不符合的地方,进行调整。与现有在高温下需要搬运靶材与金属背板贴合的绑定方式相比,本发明的操作人员只需在高温下进行位置精度检查和微调,可避免操作人员长时间高温作业,从而降低了工人操作强度,改善了工作环境,提高了绑定质量稳定性。
搜索关键词: 绑定 靶材 绑定装置 平面靶材 辅助板 背板 滑盖 热台 密封 位置精度检查 可拆卸方式 温度控制箱 质量稳定性 绑定位置 初步定位 高温状态 高温作业 金属背板 气动升降 常温下 限位块 滑轨 滑块 贴合 铟板 微调 加热 搬运 检查
【主权项】:
1.一种平面靶材的绑定装置,其特征在于:包括带滑轨的机架(3)、热台(1)、密封滑盖(4)、气动升降滑块(5)、辅助板(6)、用于控制热台温度的温度控制箱(2)和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块(8),所述热台和温度控制箱固定在机架上,机架两侧边分别设置两条滑轨(3‑1),热台位于两条滑轨之间,所述密封滑盖是下端面和一侧面具有开口的长方体结构,密封滑盖上设置有抽排气口(4‑1),密封滑盖设置有两个,两个密封滑盖对称放置在机架的两端,所述气动升降滑块包括滑块(5‑1)、安装在滑块上的气缸(5‑2)和与气缸活塞杆连接的连接板(5‑3),一个密封滑盖的两侧与多个气动升降滑块连接,即气动升降滑块的滑块安装在机架的滑轨上,连接板与密封滑盖上端面连接,所述辅助板上安装有多个用于夹紧背板的固定夹(7)。
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