[发明专利]覆铜层叠板有效
| 申请号： | 201910640428.5 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110740567B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 渡边智治;小川茂树;下地匠;西山芳英 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | H05K1/09 | 分类号： | H05K1/09;H05K3/18 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种能够抑制化学研磨后的针孔的产生的覆铜层叠板。该覆铜层叠板(1)包括：基膜(11)、形成在基膜(11)的表面的金属层(12)、以及形成在金属层(12)的表面的镀铜被膜(20)。镀铜被膜(20)中的利用化学研磨进行减膜后残存的残存部(23)中包含作为杂质含有氯的高氯浓度层(21)。残存部(23)的厚度例如为0.4～0.8μm。高氯浓度层(21)的氯浓度优选为1×10 |
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| 搜索关键词： | 层叠 | ||
【主权项】：
1.一种覆铜层叠板，其特征在于，其包括：/n基膜；/n形成在所述基膜的表面的金属层；以及/n形成在所述金属层的表面的镀铜被膜，/n所述镀铜被膜中的利用化学研磨进行减膜后残存的残存部中包含作为杂质含有氯的高氯浓度层。/n
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