[发明专利]减振装置、风机系统及半导体热处理设备有效
| 申请号： | 201910641304.9 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110345195B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 赵宏图 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/02 | 分类号： | F16F15/02;F16F15/04;F04D29/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种减振装置、风机系统及半导体热处理设备。该减振装置设置于机箱及风机本体之间用于对风机本体进行减振，包括：底座、滑块、外壳、第一减振组件及第二减振组件；滑块通过第一减振组件连接于底座，且滑块能相对于底座沿第一轴向运动；外壳套设于滑块外侧，且外壳能相对于滑块绕第二轴向转动，第一轴向与第二轴向之间呈第一夹角；第二减振组件设置于滑块及外壳内壁之间，并且第二减振组件延伸方向与第一轴向及第二轴向所在平面相交呈第二夹角。本申请实施例实现了对风机本体多角度的缓冲减振，可以很好的缓解风机本体的振动对机箱的损害，以满足对风机本体减振的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 风机 系统 半导体 热处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种减振装置，设置于机箱及风机本体之间用于对风机本体进行减振，其特征在于，包括：底座、滑块、外壳、第一减振组件及第二减振组件；所述滑块通过第一减振组件连接于所述底座，且所述滑块能相对于所述底座沿第一轴向运动；所述外壳套设于所述滑块外侧，且所述外壳能相对于所述滑块绕第二轴向转动，所述第一轴向与所述第二轴向之间呈第一夹角；所述第二减振组件设置于所述滑块及所述外壳内壁之间，并且所述第二减振组件延伸方向与所述第一轴向及所述第二轴向所在平面相交呈第二夹角。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910641304.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种二级罗伯茨悬吊水平减振系统
- 下一篇：可调节的机电设备安装用运输底座
