[发明专利]图案化复合装置及其动作方法在审
| 申请号： | 201910643303.8 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111983895A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 朴云翼;朴泰玩;金光浩 | 申请（专利权）人： | 韩国陶瓷技术院;财团法人未来素材研究团 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 杜正国;苗彩娟 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供图案化复合装置。上述图案化复合装置包括：图案化模块，安装有包括与目标基板接触或分离的主图案的主板，向上述目标基板施加压力来在上述目标基板形成具有上述主图案的逆像的多个目标图案；以及穿孔模块，包括与形成有上述多个目标图案的上述目标基板接触或分离的穿孔模具，向上述目标基板施加压力来分割上述多个目标图案中的至少一个。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 复合 装置 及其 动作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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