[发明专利]感光性树脂组合物和图案形成方法在审

专利信息
申请号: 201910644023.9 申请日: 2019-07-17
公开(公告)号: CN110727175A 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 丸山仁;大和田保 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/075
代理公司: 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 杜丽利
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明为感光性树脂组合物和图案形成方法。包含(A)含酸可交联的基团的有机硅树脂、(B)光致产酸剂和(C)白色颜料的白色感光性树脂组合物具有足够的反射率,良好的关于粘合性和耐开裂性的可靠性、分辨率、柔韧性和耐光性。
搜索关键词: 感光性树脂组合物 光致产酸剂 有机硅树脂 柔韧性 白色颜料 耐开裂性 图案形成 反射率 可交联 耐光性 粘合性 分辨率
【主权项】:
1.感光性树脂组合物,其包含(A)含酸可交联的基团的有机硅树脂、(B)光致产酸剂和(C)白色颜料。/n
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