[发明专利]柔性电介质体、柔性压力传感器及其各自的制备方法在审
申请号: | 201910648852.4 | 申请日: | 2019-07-18 |
公开(公告)号: | CN110440957A | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 冯雪;杜琦峰;陈颖 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L9/12 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 林丽璀 |
地址: | 314000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请涉及一种柔性电介质体,所述柔性电介质体的一侧表面具有微结构图案,所述柔性电介质体的内部具有微孔结构。将所述柔性电介质体作为柔性压力传感器的介电层使用时,在受力过程中,柔性电介质体表面的微结构图案先发生变形,提高柔性压力传感器的灵敏度,随着压力增大,柔性电介质体内部的微孔结构发生变形,增大柔性压力传感器的压力测试范围。 | ||
搜索关键词: | 柔性电介质 柔性压力传感器 微结构图案 微孔结构 变形 受力过程 压力测试 压力增大 介电层 灵敏度 体内部 制备 申请 | ||
【主权项】:
1.一种柔性电介质体,其特征在于,所述柔性电介质体的一侧表面具有微结构图案,所述柔性电介质体的内部具有微孔结构。
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