[发明专利]虚拟量测方法和虚拟量测装置在审
| 申请号： | 201910652892.6 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN110442930A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 朱墉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G01B21/08 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种虚拟量测方法和虚拟量测装置，该虚拟量测方法用于预测膜层厚度，该虚拟量测方法包括：获取所述膜层对应的制程参数以及制程时间，根据参数速率关系，以及所述制程参数，确定所述制程参数对应的成膜速率，根据所述制程时间、以及所述成膜速率，确定所述膜层的厚度；通过获取膜层对应的制程参数和制程时间，并根据参数速率关系，以及获取的制程参数，可确定膜层的成膜速率，然后根据获取的制程时间和膜层的成膜速率得到膜层的厚度，可消除制程时间对预测的影响，从而使得预测膜厚准确性提高，提高模型的拟合度，解决了现有虚拟量测方法存在预测膜厚不准确的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 虚拟量测 膜层 制程参数 制程 成膜 预测 速率关系 膜厚 | ||
【主权项】：
1.一种虚拟量测方法，用于预测膜层厚度，其特征在于，所述虚拟量测方法包括：获取所述膜层对应的制程参数以及制程时间；根据参数速率关系，以及所述制程参数，确定所述制程参数对应的成膜速率；根据所述制程时间、以及所述成膜速率，确定所述膜层的厚度。
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