[发明专利]一种光刻机的挡光板装置

摘要

本发明涉及集成电路生产设备技术领域，具体公开了一种光刻机的挡光板装置，包括两块前挡光板，前挡光板上端前后两侧分别通过一第一滑块与一第二滑块和对应的一上导轨连接，上导轨内设有一滚珠丝杠，前挡光板下方对应设有两块后挡光板，且后挡光板下端左右两侧分别通过一第一滑块与一第二滑块和对应的一下导轨连接，下导轨内设有一滚珠丝杠。本发明通过上导轨内的滚珠丝杠来带动前挡光板在水平方向进行左右移动，同时通过下导轨内的滚珠丝杠来带动后挡光板在水平方向进行前后移动，进而通过后挡光板与前挡光板的配合使用来构成一个透光口，结构简单，解决了现有的光刻机的挡光板装置结构较为复杂且空间占用率较高的问题。

主权项

1.一种光刻机的挡光板装置，包括平行设置的两块前挡光板（4），其特征在于，所述前挡光板（4）上端前后两侧分别通过一第一滑块（2）与一第二滑块（5）和对应的一上导轨（3）连接，所述上导轨（3）内设有用于驱动所述前挡光板（4）左右移动的一滚珠丝杠（6）；所述前挡光板（4）下方对应设有两块后挡光板（8），且所述后挡光板（8）下端左右两侧分别通过一第一滑块（2）与一第二滑块（5）和对应的一下导轨（9）连接，所述下导轨（9）内设有用于驱动所述后挡光板（8）前后移动的一滚珠丝杠（6）。