[发明专利]加速度传感器有效
| 申请号： | 201910654068.4 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN110361562B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | D.梅因霍尔德 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及加速度传感器。公开了各种加速度传感器。在一些情形中，惯性质量可以在后端线（BEOL）期间形成。在其它情形中，薄膜可以具有弯曲、波动或蜿蜒的形状。在又其它实施例中，惯性质量可以横跨两个或更多个压力感测结构。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种加速度传感器，包括：第一压力感测结构，在晶片中形成，第二压力感测结构，横向相邻于所述第一压力感测结构，以及惯性质量，在所述第一压力感测结构和所述第二压力感测结构上并且横跨所述第一压力感测结构和所述第二压力感测结构。
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