[发明专利]高效画胶装片装置

摘要

本发明提供一种高效画胶装片装置，其包括：第一传送机构、第一画胶机构、第二画胶机构、装片台、第二传送机构、校正台、第三传送机构、晶圆台。本发明的高效画胶装片装置具有两个独立设置画胶机构，且两个画胶机构能够按照各自的画胶方式进行画胶，如此能够快速的完成一块基板的画胶，为后续晶圆片与基板的贴装提供了保障。

主权项

1.一种高效画胶装片装置，其特征在于，所述高效画胶装片装置包括：第一传送机构、第一画胶机构、第二画胶机构、装片台、第二传送机构、校正台、第三传送机构、晶圆台；所述第一画胶机构和第二画胶机构沿所述第一传送机构的传送方向，所述第一传送机构设置于所述第一画胶机构和第二画胶机构的下方，基板由所述第一传送机构传送，依次自所述第一画胶机构和第二画胶机构下方通过，所述第一画胶机构包括：第一画胶头以及第一驱动机构，所述第二画胶机构包括：第二画胶头以及第二驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述第一画胶头按照第一画胶动作进行画胶，所述第二驱动机构驱动所述第二画胶头按照第二画胶动作进行画胶；所述装片台位于所述第二画胶机构的下游，所述第二传送机构位于所述装片台和校正台之间，所述第二传送机构包括：第一传送臂以及设置于所述第一传送臂一端的第一吸盘，所述第一传送臂于所述装片台和校正台之间进行枢转往复运动，所述校正台以自身轴线为转轴进行旋转校准，所述第三传送机构位于所述校正台和晶圆台之间，所述第三传送机构包括：第二传送臂以及设置于所述第二传送臂一端的第二吸盘，所述第二传送臂于所述校正台和晶圆台之间进行枢转往复运动。