[发明专利]一种制备大面积硒化锑薄膜的设备及其方法和应用

摘要

本发明提供了一种制备大面积硒化锑薄膜的设备及其方法和应用，所述设备是在沉积设备的沉积室内水平固定有圆筒，所述圆筒的一侧与氩气供气管相连通，圆筒的另一侧开有水平方向延伸的长条孔，在圆筒内同轴设有用于盛装硒化锑颗粒的圆筒形的网漏，所述网漏的一端连有转轴并可在圆筒内旋转；在与所述长条孔相对的位置设有样品台，所述样品台与升降杆相连并可随升降杆匀速上下移动，在样品台与长条孔相对的台面上设有衬底，在样品台与圆筒之间设有挡板。本发明通过调控衬底上下运动次数、衬底与源的温度以及通入高纯氩气的气体流量，制备得到了结晶状态和成膜均匀性好，缺陷密度较小的大面积硒化锑薄膜，其设备及工艺简单，有利于推广与应用。

主权项

1.一种制备大面积硒化锑薄膜的设备，其特征是，在沉积设备的沉积室内水平固定有圆筒，所述圆筒的一侧与氩气供气管相连通，圆筒的另一侧开有水平方向延伸的长条孔，在圆筒内同轴设有用于盛装硒化锑颗粒的圆筒形的网漏，所述网漏的一端连有转轴并可在圆筒内旋转；在与所述长条孔相对的位置设有样品台，所述样品台与升降杆相连并可随升降杆匀速上下移动，在样品台与长条孔相对的台面上设有衬底，在样品台与圆筒之间设有挡板，所述挡板的顶端与沉积室顶面相连，所述挡板的底端沿与长条孔的上沿处于同一高度。