[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910657445.X | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN112054779A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 隋欢;齐飞;杨国煌 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制造方法。本发明提供的薄膜体声波谐振器在压电叠层中设置第一分割结构和第二分割结构，第一分割结构和第二分割结构互补围成环状，以界定所述有效工作区和所述寄生工作区，在所述寄生工作区，所述第一电极和所述第二电极在厚度方向上具有相对区域，然后，在第一分割结构和第二分割结构的交界处设置第一分离结构和第二分离结构，第一分离结构分离第一电极使在至少部分相对区域，部分寄生工作区的第一电极与有效工作区的第一电极绝缘，有效减少了寄生谐振，改善了声波损耗，使薄膜体声波谐振器的品质因子得到提高，进而提高器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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