[发明专利]一种刀具涂层及其生产设备在审
| 申请号： | 201910658848.6 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110273127A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 黄仕江;蒋源;袁明 | 申请（专利权）人： | 上海妙壳新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/06;C23C14/50;C23C16/06;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/458;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201311 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刀具涂层，由内到外依次设置金属层、连接层、纳米多层耐磨层和自润滑层，所述金属层为Ti，连接层为TiN或TiAlN，纳米多层耐磨层为TiAlN或AlCrWSiCN，自润滑层为AlCrWSiCN。与真空腔连接的通入氮气的进气口以及设置在真空腔体上的抽气口，所述真空腔的中部设置有可以旋转的盛放工件的旋转台，所述真空腔内沿着逆时针方向依次设置有离化源、以Ti作为材料的A靶、以TiAl为材料的B靶以及以AlCrWSi为材料的C靶，且A靶、B靶和C靶均连接有偏压电源，所述A靶和离化源位于抽气口的两侧。以Ti作为基础层，结合能力更强，连接层为TiN或TiAlN，具有低应力，以TiAlN或AlCrWSiCN为纳米多层耐磨层，耐磨性好，强度更高，以AlCrWSiCN为自润滑层，减小摩擦，特别形成了含AlCrWSi的DLC层。 | ||
| 搜索关键词： | 自润滑层 连接层 耐磨层 真空腔 多层 刀具涂层 依次设置 抽气口 金属层 离化源 进气口 氮气 耐磨性 减小摩擦 结合能力 偏压电源 生产设备 真空腔体 低应力 基础层 旋转台 盛放 | ||
【主权项】：
1.一种刀具涂层，其特征在于：由内到外依次设置金属层、连接层、纳米多层耐磨层和自润滑层，所述金属层为Ti，连接层为TiN或TiAlN，纳米多层耐磨层为TiAlN或AlCrWSiCN，自润滑层为AlCrWSiCN。
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