[发明专利]一种用于碳化硅外延的加热装置在审
| 申请号： | 201910659137.0 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110331439A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;沈文杰;周建灿;邵鹏飞;曹建伟;汤承伟;杨奎 | 申请（专利权）人： | 杭州弘晟智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B29/36 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及碳化硅外延生长技术领域，具体是涉及一种用于碳化硅外延的加热装置。包括外延生长反应腔和绕设于外延生长反应腔外的电磁感应线圈；电磁感应线圈包括多个线圈匝，电磁感应线圈的匝间距自线圈端部向线圈中部逐渐递增。本发明改进了线圈结构，在保证加热速度的同时，提高了温度场的均匀性，从而改善了碳化硅外延的品质；本发明中的线圈呈中空型，内部通入冷却水，石英防护罩内外层间隙中也可以通入冷却水，用于整个电磁感应线圈的冷却，保证了加热线圈在持续高温下的运行可靠性，增强了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁感应线圈 碳化硅外延 加热装置 外延生长 反应腔 冷却水 防护罩 运行可靠性 持续高温 加热线圈 使用寿命 线圈端部 线圈结构 线圈中部 均匀性 内外层 温度场 线圈匝 中空型 石英 加热 冷却 保证 递增 生长 改进 | ||
【主权项】：
1.一种用于碳化硅外延设备的加热装置，包括外延生长反应腔和绕设于外延生长反应腔外的电磁感应线圈；其特征在于，所述电磁感应线圈包括多个线圈匝，所述电磁感应线圈的匝间距自线圈端部向线圈中部逐渐递增。
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