[发明专利]一种微透镜阵列研磨装置及方法在审
| 申请号： | 201910659557.9 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110398792A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 周天丰;贺裕鹏;仇天阳;颜培;梁志强;刘志兵;焦黎;解丽静;赵文祥;王西彬 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微透镜阵列研磨装置及方法，涉及研磨技术领域，微透镜阵列研磨装置中平移装置可滑动地安装于基座上，升降装置可滑动地安装于平移装置上，弹性体工作台固定安装于升降装置上，升降装置的升降方向、平移装置的滑动方向及升降装置的滑动方向三者相互垂直，支撑装置与基座固定连接，研磨头固定于支撑装置上，且研磨头的研磨端面与待加工工件相对，动力装置与研磨头连接，振动发生装置与弹性体工作台固定连接，使用该微透镜阵列研磨装置进行研磨时，振动发生装置对弹性体工作台施加振动，使微透镜阵列加工效率高，且通过升降装置及平移装置精准调整待加工工件的位置及加工深度，微透镜阵列加工一致性好，加工精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 微透镜阵列 升降装置 平移装置 研磨装置 研磨 研磨头 工作台 振动发生装置 待加工工件 滑动方向 可滑动地 支撑装置 加工 动力装置 加工效率 精准调整 施加振动 一致性好 升降 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种微透镜阵列研磨装置，其特征在于，包括基座、平移装置、升降装置、振动发生装置、支撑装置、研磨头、动力装置以及用于支撑待加工工件的弹性体工作台，所述平移装置可滑动地安装于所述基座上，所述升降装置可滑动地安装于所述平移装置上，所述弹性体工作台固定安装于所述升降装置上，所述升降装置的升降方向、所述平移装置的滑动方向及所述升降装置的滑动方向三者相互垂直，所述支撑装置与所述基座固定连接，所述研磨头固定于所述支撑装置上，且所述研磨头的研磨端面与所述待加工工件相对，所述动力装置与所述研磨头连接以驱动所述研磨头转动，所述振动发生装置与所述弹性体工作台固定连接以驱动所述弹性体工作台振动。
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