[发明专利]一套防止加热盘边缘热量损失的保温罩有效
| 申请号： | 201910663986.3 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110284119B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 金基烈;吴凤丽;谭华强;魏有雯 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域，涉及一套防止加热盘边缘热量损失的保温罩。该保温罩设置在腔室内衬和加热盘边缘上，即包括腔室内壁保温罩和加热盘边缘罩，所述腔室内壁保温罩为在腔室的底部、顶部、围墙即在做薄膜沉积时的加热盘(8)的周围设置一层三维保温罩，所述加热盘边缘罩为在加热盘(8)上加盖一组保温盖，包括边缘保温罩(9)和顶部保温盖(10)。本发明的目的是防止腔室内加热盘边缘热量损失，且保证晶圆工艺环境温度均匀，使沉积对温度要求很高的膜时其质量不被温度所影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一套 防止 加热 边缘 热量 损失 保温 | ||
【主权项】：
1.一套防止加热盘边缘热量损失的保温罩，其特征在于，设置在腔室内衬和加热盘边缘上，即包括腔室内壁保温罩和加热盘边缘罩，所述腔室内壁保温罩为在腔室的底部、顶部、围墙即在做薄膜沉积时的加热盘(8)的周围设置一层三维保温罩，所述加热盘边缘罩为在加热盘(8)上加盖一组保温盖，包括边缘保温罩(9)和顶部保温盖(10)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
