[发明专利]一种柔性内联式CIGS太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性内联式CIGS太阳能电池和制备方法，包括：柔性衬底；背保护层沉积在柔性衬底的下表面；绝缘层，其采用磁控溅射的方法制备在柔性衬底上方；阻挡层采用溅射的方法制备在绝缘层上方；背电极层用溅射的方法制备在阻挡层上方；CIGS吸收层用三步共蒸、溅射硒化方法制备在背电极层上方；缓冲层采用化学水浴工艺制备在CIGS吸收层上方；窗口层用溅射的方法制备在缓冲层上方；前电极层采用溅射的方法制备在窗口层上方；多组刻线，每组刻线包括P₁刻线、P₂刻线和P₃刻线，每组刻线对不同的功能膜层进行刻划，实现了电池内部串联。本发明提高了电池的有效发电面积和电池的效率，产品的质量高、成本低，有利于商业化规模生产。

主权项

1.一种柔性内联式CIGS太阳能电池，其特征在于，包括：柔性衬底；用以防止硒蒸汽腐蚀衬底的背保护层，其沉积在柔性衬底的下表面；用以保护柔性衬底不受激光损伤的绝缘层，其采用反应磁控溅射的方法制备在衬底上方；阻挡层，其采用直流溅射的方法制备在绝缘层上方；背电极层，其采用直流溅射的方法制备在阻挡层上方；CIGS吸收层，其采用三步共蒸、溅射硒化方法制备在背电极层上方；缓冲层，其采用化学水浴工艺制备在CIGS吸收层上方；窗口层，其采用脉冲直流溅射的方法制备在缓冲层上方；前电极层，其采用脉冲直流溅射的方法制备在窗口层上方；多组刻线，每组刻线包括P₁刻线、P₂刻线和P₃刻线，其中P₁刻线采用卷对卷亚纳秒激光下打光方式将阻挡层和背电极层完全刻断，P₁刻线一直刻划到绝缘层表面，使第一道刻线P₁刻线两侧的子电池完全绝缘，同时对绝缘层不造成损伤；P₂刻线采用卷对卷机械刻线将CIGS吸收层、缓冲层两层薄膜完全刻断，P₂刻线下端刻划至背电极层上表面，保证P₂刻线两侧的子电池通过P₂刻线沟槽接触导通，且P₂刻线与P₁刻线是平行设置；P₃刻线采用卷对卷机械刻线将前电极层、窗口层、缓冲层以及CIGS吸收层完全刻划刻断，其下端刻划至背电极层上表面，保证P₃刻线两侧的子电池的前电极完全断开，同样的，P₃刻线与P₁刻线保持平行。