[发明专利]微接触压印方法在审
| 申请号： | 201910665524.5 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110376844A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | G.克赖因德尔;M.温普林格;M.楚伊基 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00;B82Y10/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邵长准;黄念 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及微接触压印方法。具体地，本发明涉及借助结构印模的压印面将压印材料转移到衬底的目标表面上以微接触压印结构的方法，其特征在于，该压印材料至少主要地由硅烷构成或者至少主要地由至少一种硅烷衍生物构成，并且该结构印模为软质印模。此外，本发明涉及相关方法，其中该压印材料是至少主要地由有机分子构成的分子组分。 | ||
| 搜索关键词： | 压印材料 微接触 压印 印模 硅烷衍生物 目标表面 软质印模 压印结构 有机分子 压印面 衬底 硅烷 | ||
【主权项】：
1.借助结构印模的压印面将压印材料转移到衬底的目标表面上以微接触压印结构的方法，其特征在于，压印材料至少主要地由硅烷构成或者至少主要地由至少一种硅烷衍生物构成，或者为至少主要地由有机分子构成的分子组分，并且其中结构印模为软质印模和具有旋转轴，其中结构印模以辊的形式制造成空心轴，其中该空心轴内的空腔用作压印材料的储存器，其中结构印模具有由孔隙构成的多孔的微结构，其允许压印材料从空腔中通过到达结构的表面上，所述方法包括：使压印面与目标表面接触；和根据所述压印面使用所述压印材料将所述结构压印到所述目标表面上，所述压印包括：使所述衬底相对于所述印模移动以围绕所述旋转轴使所述压印面旋转；和通过所述衬底的所述移动将所述压印材料从所述压印面转移到所述目标表面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于EV集团E·索尔纳有限责任公司，未经EV集团E·索尔纳有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910665524.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
