[发明专利]一种Ag掺杂SnSe半导体薄膜及其电化学制备方法有效
申请号: | 201910665920.8 | 申请日: | 2019-07-23 |
公开(公告)号: | CN110257872B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 李志林;王峰;曹凯;刘景军;吉静;张正平;窦美玲;宋夜 | 申请(专利权)人: | 北京化工大学 |
主分类号: | C25D9/04 | 分类号: | C25D9/04;C25D3/02 |
代理公司: | 北京五月天专利商标代理有限公司 11294 | 代理人: | 王振华 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种Ag掺杂SnSe半导体薄膜及其电化学制备方法,选择硝酸银,氯化亚锡,亚硒酸钠作为银、锡、硒源,以乙二胺四乙酸二钠作为络合剂,尿素、十二烷基磺酸钠作为添加剂配制电解液,调节镀液pH值为1.5‑5后在室温下进行电沉积得到Ag掺杂SnSe预沉积薄膜,之后将SnSe预沉积薄膜退火,得到Ag掺杂SnSe半导体薄膜。该方法能够制备出无杂相的Ag掺杂SnSe半导体薄膜,薄膜的载流子浓度、迁移率和电导率高,有利于其热电性能的提高。该制备方法可通过电解液成分、沉积工艺和退火方法调控其化学成分和电传输性能,具有可控性强,重复性好的特点,适用于大面积制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 ag 掺杂 snse 半导体 薄膜 及其 电化学 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种Ag掺杂SnSe半导体薄膜的电化学制备方法,其特征如下:分别以硝酸银,氯化亚锡,亚硒酸钠作为银、锡、硒源,以乙二胺四乙酸二钠作络合剂配制电解液,调节镀液pH值为1.5‑5后在室温下进行电沉积得到Ag掺杂SnSe预沉积薄膜,最后将SnSe预沉积薄膜在惰性气氛保护下于150‑600℃下退火处理10分钟‑10小时,得到Ag掺杂SnSe半导体薄膜。
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