[发明专利]一种自动动态配气系统及其配气方法在审
| 申请号： | 201910667970.X | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110354753A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 高志强;顾潮春;刘乙;谢兆明;赵玲宝;魏庆瑶 | 申请（专利权）人： | 江苏春潮科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/04 | 分类号： | B01F15/04;B01F15/02;B01F3/02;G01N33/00 |
| 代理公司： | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人： | 董存壁 |
| 地址： | 224012 江苏省盐城市盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种自动动态配气系统，包括稀释气体、被稀释气体、气体混合腔、质量流量控制器、气体流通管及气体检测装置；气体混合腔具有三个进气口和一个出气口，稀释气体出气口与气体混合腔一个进气口连接，稀释气体与气体混合腔管路上设置有质量流量控制器Ⅰ，气体混合腔出气口与气体检测装置进气口连接；气体流通管具有多个进气口和两个出气口，被稀释气体通过进气口依次与气体流通管连接，两个出气口与气体混合腔两个进气口连接；气体流通管与气体混合腔之间设有质量流量控制器Ⅱ和质量流量控制器Ⅲ，质量流量控制器Ⅰ量程大于质量流量控制器ⅡⅢ的量程，质量流量控制器Ⅱ量程大于质量流量控制器Ⅲ量程。本发明测试气体传感器速度快、耗时短、效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 质量流量控制器 气体混合腔 稀释气体 出气口 气体流通管 进气口 量程 进气口连接 气体检测装置 配气系统 自动动态 测试气体传感器 耗时 | ||
【主权项】：
1.一种自动动态配气系统，包括稀释气体(1)、被稀释气体(2)、气体混合腔(6)、质量流量控制器(5)、气体检测装置(7)、多个阀门以及用于各部件之间气体传输的管路；气体混合腔(6)具有三个进气口和一个出气口，稀释气体(1)出气口与气体混合腔(6)一个进气口连接，稀释气体(1)与气体混合腔(6)管路上设置有质量流量控制器Ⅰ(5‑1)，气体混合腔(6)出气口与气体检测装置(7)进气口连接；其特征是：还包括气体流通管(4)，所述的气体流通管(4)具有多个进气口和两个出气口，被稀释气体(2)通过进气口依次与气体流通管(4)连接，两个出气口与气体混合腔(6)两个进气口连接；气体流通管(4)与气体混合腔(6)之间设有质量流量控制器Ⅱ(5‑2)和质量流量控制器Ⅲ(5‑3)，质量流量控制器Ⅰ(5‑1)的量程大于质量流量控制器Ⅱ(5‑2)和质量流量控制器Ⅲ(5‑3)的量程，质量流量控制器Ⅱ(5‑2)的量程大于质量流量控制器Ⅲ(5‑3)的量程。
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